2026.06.12
部落格與洞察
VU-5:硬脆材料加工解方
碳化矽(SiC)、先進陶瓷、高純度石英,這些半導體耗材好拿不好做?用超音波高頻振動打破加工瓶頸!
東台 VU-5 超音波輔助加工機 三大核心優勢:
🔧 降阻抗、防崩邊 —— 確保石英環與晶圓承載盤的完美精度。
🔩 高效微孔加工 —— 輕鬆搞定 Showerhead 密密麻麻的微孔需求。
🛡️ 超強抗粉塵防護 —— 阻絕微細粉塵,維持機台高剛性與穩定度。
單機兼顧金屬與非金屬,半導體供應鏈升級的標配。
